昆山金斗云测控(多图)-泰州Viber X5振动分析服务

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI Viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，精度为七纳米至几微米之间，光刻机是世界上精密的仪器，对振动的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准，Viber X5振动分析服务，VC微振动标准分为：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。名的光刻机制造商荷兰ASML要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机，某名半导体制造商使用瑞典VMI Viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS，无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI Viber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动**标的频率并成功找到振动源，经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

动平衡组件，包括外部激光转速计 30-250000( 取决于传感器 ) 5m 线缆 (1 套 )，传感器延长电缆 5M (2 根 )，转速传感器磁性快速安装支架 (1 套 )，口袋电子秤 (1 个 )。VIBER X5 硬箱可容纳动平衡组件。

常规功能

频谱测量

这个测量显示出设备振动的频谱图及时间波形，主要分析设备的不平衡、不对中、机械松动等故障。

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI振动分析仪VIBER X5规格说明：

常规功能

停机测试

停机程序用来分析当机器的转速逐渐降低的过程中，例如停机时可测量机器的共振和临界转速。仪器以两个绘图显示该测量，振幅和相位随机器转速变化的曲线。

Vibshape

这是一个 ODS 动画模块，主要用于分析设备结构的变形共振等结构性的振动，通过 ODS 动画的方式呈现出来，便于振动分析师快速且准确的提交解决方案。